我司可使用纳米压印技术（Nanoimprint Lithography）在碳化硅、铌酸锂、单晶硅、光学玻璃以及其它金属基底上批量加工微结构纳米光栅（Nanograting）、微结构纳米孔（Nanopores）、微结构纳米柱（Nanopillars）等产品。可加工线宽最小50nm，深度最大300nm，尺寸最大8英寸。基底材质包括石英玻璃、光学玻璃、PDMS、PC、PET、硅片、硅胶和其它热塑性高分子材料，并且我司还可根据您的要求定制化制作。
一、微结构纳米光栅（Nanograting）
微结构纳米光栅（Nanograting）由平行的纳米条纹构成，具有特殊的化学和物理性质，是光通信的关键器件，在光谱、全息投影、光学测量领域有着重要应用。我司可在光学玻璃、铌酸锂、碳化硅、单晶硅以及其它金属基底上批量加工微结构纳米光栅。
特征尺寸：直径≥20nm，周期≥40nm，最大深宽比10：1
参数
- 线宽200nm，150nm
- 周期400nm，300nm
- 深度300nm
- 尺寸2英寸
- 深宽比基本都是1:2
我们的加工能力
- 最小线宽50nm
- 最大深度300nm
- 最大尺寸8英寸
- 基底材质：光学玻璃、石英玻璃、硅片、PDMS、硅胶、PC、PET和其它热塑性高分子材料
- 可根据您的要求定制化
应用场景
激光技术、生物医学、光通讯、光传感器等
二、微结构纳米孔（模组光栅片）
微结构纳米孔（Nanopores）是一种直径在纳米级别的微小孔洞，我司通过纳米压印技术（Nanoimprint Lithography）可以在光学玻璃、单晶硅、碳化硅以及其它金属基底上批量加工微结构纳米孔结构。
微结构纳米孔（Nanopores）应用领域：（1）光学（2）基因测序（3）蛋白结构和序列的表征（4）单分子化学（5）用于模拟生物系统的合成纳米孔（6）识别和量化生物标志物
特征尺寸：直径≥20nm，周期≥40nm，最大深宽比10：1
参数
- 孔径260nm，200nm
- 深度280nm
- 周期600nm
- 尺寸25mm
我们的加工能力
- 最小孔径50nm
- 最大深度300nm
- 最大尺寸8英寸
- 基底材质：光学玻璃、石英玻璃、硅片、PDMS、硅胶、PC、PET和其它热塑性高分子材料
- 可根据您的要求定制化
应用场景
生物医学、能源领域应用等
三、微结构纳米柱（Nanopillars）
微结构纳米柱（Nanopillars）是直径在纳米级别的柱状结构，通常组合成点阵或森林状结构。
主要应用领域：（1）高效太阳板，纳米柱底部参杂，可以使光停留时间延长，可捕获更多的光（2）高分辨细胞分析（3）抗细菌表面
我司通过纳米压印工艺（Nanoimprint Lithography）可以在不同材质基底上批量加工微结构纳米柱（Nanopillars）结构。
特征尺寸：直径≥20nm，周期≥40nm，最大深宽比10：1
参数
- 高度250nm，150~200nm
- 孔径340nm
- 周期680nm
- 尺寸6英寸
我们的加工能力
- 最小孔径50nm
- 最大深度300nm
- 最大尺寸8英寸
- 基底材质：光学玻璃、石英玻璃、硅片、PDMS、硅胶、PC、PET和其它热塑性高分子材料
- 可根据您的要求定制化制作
应用场景
传感器、激光技术、电子、AR、VR等
